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激光波長(十大激光器排名)

浪起激光2022-01-2468791
光刻機(jī)的靈魂刻刀

最近幾年的中美貿(mào)易戰(zhàn)越演越烈,美國以保護(hù)國家安全為由加強(qiáng)禁令,導(dǎo)致華為被動地出現(xiàn)了芯片危機(jī),甚至有可能被逼入絕境。作為中國的優(yōu)秀企業(yè),華為擁有著全國領(lǐng)先的技術(shù)。但為什么美國的一紙制裁書,就能卡到華為的脖子呢?難道華為無法自己制造芯片嗎?當(dāng)然不是,問題的關(guān)鍵,在于小而精這一點上。華為自己制造的芯片大概在7納米和14納米左右,而禁令之前,華為與臺積電合作生產(chǎn)的芯片,其最小制程已經(jīng)有望達(dá)到5納米左右。這東西是越小越金貴,禁令一出,華為只能找別家合作,但就是做7納米也蠻費勁的。那么臺積電有的東西一定是我們所缺少的,這東西是什么呢?這就要從芯片的制造技術(shù)說起了。

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談到芯片的制造,就不得不說說光刻機(jī)這個東西。它是一種能夠制造出芯片的高端精密儀器。光刻機(jī),顧名思義,就是用光學(xué)技術(shù)把各種各樣形式的電路刻在晶圓上面,之后再使用精密的儀器順著刻出來的樣子繼續(xù)加工,最后得到小而精的芯片,它可以完成大量的、復(fù)雜的運算,可以處理很多任務(wù)。它可以放在電視、電腦、手機(jī)里,沒有這種東西,現(xiàn)代社會的很多電子產(chǎn)品就無法小型化、功能也無法復(fù)雜化。由此可見,作為它的制造儀器光刻機(jī),顯然成了芯片產(chǎn)業(yè)中最昂貴且技術(shù)難度最高的機(jī)器,好幾億美金一臺的價格都算便宜的。

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光刻機(jī)

可是光刻機(jī)昂貴在哪里呢?既然它是整塊芯片的靈魂刻刀,那么它的關(guān)鍵就在一個“刻”字上,究竟有多鋒利的刀刃,能刻出這么小而精的芯片?世界上最鋒利的刀刃,不是金屬而是激光。光刻機(jī)使用了光學(xué)技術(shù),它最核心的東西就是用某種材料來控制光源,來達(dá)到我們想要的效果。也就是把光變成刀刃。

我們常見的光源有可見光和紫外光,其中紫外光又叫做UV,它能殺菌消毒,但同時對眼睛有很大的殺傷力,是肉眼不可直視的光源。而目前世界上發(fā)現(xiàn)的,比紫外光更具殺傷力的光源便是深紫外光和極紫外光,又稱DUV和EUV。這些光源按照波長來比較,EUV是波長最短的光源。波長越短的光,其頻率越高,如果利用起來進(jìn)行聚焦,則可以變成激光束來進(jìn)行切割,它可以使被照射的材料迅速熔化,并且借助與激光束同樣高速的氣流吹掉熔融物質(zhì),從而實現(xiàn)切割的目的。如果我們的要求更精密,不是切割而是雕刻呢?這就是光刻的原理。

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目前為止,波長最短的EUV光源,所產(chǎn)生的激光所雕刻的芯片,精度更高。除了光源本身以外,將光源利用起來進(jìn)行聚焦、折射、甚至改變其波長和頻率的光學(xué)晶體材料,也成了這類精密儀器的核心部件,甚至對于所有激光類儀器,都起著至關(guān)重要的作用。

然而,美國的禁令一出,華為和臺積電無法再合作,轉(zhuǎn)而與中芯國際合作制造芯片。不久后媒體就捕捉到中芯國際從荷蘭進(jìn)口了一臺大型光刻機(jī),通過出口加工區(qū)場站兩道閘口進(jìn)入廠區(qū),當(dāng)時給了業(yè)界很大期望,但后來才知道也只是DUV光刻機(jī)。而荷蘭最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),一直受到美國的阻攔,始終不肯賣給中國。

如果你了解中國光學(xué)晶體材料的歷史,就不難看出,這些卡中國脖子的行為,也可能是美國為了雪恥,而進(jìn)行的報復(fù)。因為早在20世紀(jì)80年代,中國就曾經(jīng)發(fā)明了領(lǐng)先于世界的,非線性光學(xué)晶體材料,并且在當(dāng)時禁止了這項產(chǎn)品和技術(shù)的外傳。換句話說,在激光科學(xué)領(lǐng)域,中國先卡過美國的脖子。

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大國工匠,一劍封喉的輝煌

中國的非線性光學(xué)晶體研究之路,是由幾代科研人員前赴后繼,所開創(chuàng)出來的奮斗之路,是中華民族在落后屈辱中,不斷地進(jìn)行努力和抗?fàn)幍牡缆贰?978年,陳創(chuàng)天博士首次發(fā)現(xiàn)并合成了BBO晶體,也是第一塊“中國牌”非線性光學(xué)晶體,引起了世界激光學(xué)界的關(guān)注。在當(dāng)時,成了熱銷品,世界上80%的BBO都是中國制造!

1987年,第二塊“中國牌”非線性光學(xué)晶體,即LBO晶體。由陳創(chuàng)天的學(xué)生吳以成研制成功。作為非線性光學(xué)晶體的傳承人,吳以成整整研究了三年。他和他的導(dǎo)師陳博士,樂觀平和,從不以研究為累、為苦。在他們看來,為中國造出性能更好的非線性光學(xué)晶體,哪怕拼了命,也是值得的。師徒二人發(fā)明的“中國牌”晶體,廣泛應(yīng)用于激光技術(shù)領(lǐng)域。還被美國雜志評選為1989年世界十大激光高科技產(chǎn)品之一。

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而此時的陳創(chuàng)天,帶領(lǐng)著他的團(tuán)隊,精益求精地又向前邁出了一大步。當(dāng)時在國際同行中流傳著一種說法,說是激光的波長不可能再小于200納米了。然而陳創(chuàng)天團(tuán)隊卻在1990年的時候發(fā)現(xiàn)了一種能夠產(chǎn)生最短激光波長為184.7納米的晶體。經(jīng)過多次試驗,最終成功地合成了這種晶體,因為它是由氟代硼鈹酸鉀合成的,因此取每個化學(xué)元素首字母來給它命名為KBBF晶體。陳創(chuàng)天發(fā)現(xiàn)BBO和LBO雖好,但卻只是把近紅外光轉(zhuǎn)化為可見光和近紫外光,無法產(chǎn)生深紫外光。只有KBBF晶體才完美地達(dá)到了這一目的。

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而深紫外非線性光學(xué)晶體是激光器的關(guān)鍵光學(xué)元件,且其綜合性直接決定著激光器輸出深紫外激光的光束質(zhì)量和轉(zhuǎn)換效率。通俗點說,就是它可以是一個高級磨刀石,可以把光做成你想要的刀,想讓它有多鋒利它就會有多鋒利。KBBF晶體是高端光刻機(jī)、激光光譜儀甚至是激光武器的核心元件,它的性質(zhì)和質(zhì)量,直接決定了這些精密儀器或者戰(zhàn)略性武器的質(zhì)量和精確程度。經(jīng)過大國工匠多年的努力奮斗,深紫外時代開始了。KBBF晶體在國際上一面市就引起了世界的震動,一時間又成了搶手貨,一小塊就高達(dá)好幾萬美元!

當(dāng)時的中國很快便意識到了KBBF晶體可以用于軍事用途的戰(zhàn)略意義,進(jìn)而對該材料進(jìn)行了禁售和技術(shù)封鎖。至此,一向傲慢的美國人慌了,小到教學(xué)科研和醫(yī)療設(shè)備,大到激光武器,凡是跟KBBF晶體有關(guān)的項目都因為中國禁售而被卡了脖子。美國人找陳創(chuàng)天以高價買KBBF晶體,直接被拒絕:不賣。美國人又希望用極高的薪水挖走陳創(chuàng)天,得到的答復(fù)也是直接被懟:不去。以至于美國《自然》雜志大吐苦水,發(fā)表了一篇文章,就叫做《中國藏起了這種晶體》。

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KBBF晶體

隨著光刻、激光加工以及激光光譜儀等等這些激光科學(xué)的飛速發(fā)展,KBBF晶體材料作為激光技術(shù)及光電子技術(shù)核心材料之一,在激光存儲、激光通信、激光制導(dǎo)、激光慣性約束核聚變等領(lǐng)域都具有著重要的應(yīng)用。美國人沒轍了,不知投入了多少人力物力財力,也開始“自主研發(fā)”。經(jīng)過了15年的時間,最終于2016年,才研制出KBBF晶體,突破了中國的封鎖。

巨匠隕落,路漫漫其修遠(yuǎn)兮

在美國人著急研發(fā)的時候,追求完美的陳創(chuàng)天博士和他的團(tuán)隊依然馬不停蹄,繼續(xù)對KBBF晶體進(jìn)行了大量的研究工作,力求在這個過程中發(fā)現(xiàn)更多性能更優(yōu)良的光學(xué)晶體材料。

由于KBBF晶體的合成材料中有一種叫做鈹?shù)幕瘜W(xué)元素有劇毒,以此為研究方向,陳創(chuàng)天于2015年,發(fā)現(xiàn)了LSBO晶體,這是一種新型無鈹深紫外非線性光學(xué)晶體材料??梢蕴娲袆《疚镔|(zhì)鈹成為下一代深紫外線非線性光學(xué)晶體材料。但沒有想到的是,三年后,陳創(chuàng)天博士便因病逝世。一代科技巨匠悄無聲息地隕落了,這將成為我國在科技領(lǐng)域的重大損失。然而,中國的科技工作者們并不會因此而停下前進(jìn)的腳步,材料科學(xué)很重要,誰掌握制作設(shè)備的工藝,誰就更先進(jìn)。每個國家都有自己的強(qiáng)項,掌握的強(qiáng)項越多,被別人卡脖子的機(jī)會也就越少。

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中國的激光技術(shù)雖然暫時領(lǐng)先于世界,但從美國突破技術(shù)封鎖和華為事件來看,中國科學(xué)家們未來還有很長的路要走。通過科技工作者的共同努力,目前已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的一系列新的KBBF族晶體,這其中有不少更優(yōu)良的材料。比如RABF晶體,其合成材料用鋁元素取代了有劇毒的鈹元素。ABBF晶體與KBBF晶體的結(jié)構(gòu)相同,同時保留了KBBF族晶體其他的性能特點,通過水熱法進(jìn)行生長,雙折射率與KBBF晶體也十分接近。

中國晶體材料事業(yè)來之不易,經(jīng)過這么多年的努力,已經(jīng)在國際上有影響了,而且是世界領(lǐng)先水平。從“中國牌”晶體的發(fā)展歷程來看,中國在光刻技術(shù)方面還是有著堅實的基礎(chǔ)的,中國還有很大的上升空間。只要國家有決心,將來一定能夠攻克光刻機(jī)技術(shù)。只有把EUV光刻機(jī)研制出來,華為這樣的優(yōu)秀企業(yè),才能不被禁令所掣肘。希望我國的晶體事業(yè),能夠繼續(xù)創(chuàng)造輝煌。

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KBBF族晶體

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